ÅºÈ±Ô¼Ò ¹ß¿Ã¼´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÓÞѨºÐÀ§±â¿¡¼´Â »ç¿ëÁß ¼¼È÷ »êȵǾî¼
±Ô»êÀÌ »ý¼ºµÇ°í Àü±âÀúÇ×ÀÌ Áõ°¡ÇÏ¿© æëûù°¡ ÀϾ´Ï´Ù. ÀÌ »êȹÝÀÀÀº
´ÙÀ½½ÄÀ¸·Î Ç¥½ÃµË´Ï´Ù.
SiC+2O2----->SiO2+CO2
źȱԼÒ(SiC)°¡ ´ë±âÁßÀÇ »ê¼Ò(O2)¿Í ¹ÝÀÀÇÏ¿©, ¹ß¿Ã¼ÀÇ Ç¥¸é¿¡¼
¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î »êȵǾî, Àý¿¬¹°ÀÎ ±Ô»ê(SiO2)À» »ý¼ºÇÏ°í, ±×¾çÀÌ Áõ°¡Çϱâ
¶§¹®¿¡ Àü±âÀúÇ×ÀÌ Áõ´ëÇÕ´Ï´Ù.
|
[ ±×¸²3 ÀúÇ×Áõ°¡°î¼±(D3.E.F) ] |
|
|
ÀÌ »êȹÝÀÀÀº ¾à 800µµ¿¡¼ ½ÃÀÛµÇ¾î ¿Âµµ°¡ ³ô¾ÆÁö¸é
¹ÝÀÀÀÌ »¡¶óÁý´Ï´Ù. »ç¿ëÀÇ Ãʱâ´Ü°è¿¡´Â ÀÌ ¹ÝÀÀÀÌ ±Þ¼ÓÇÏ°Ô ÁøÇàµË´Ï´Ù¸¸ ¼¼È÷ ¿Ï¸¸ÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.
Àü±âÀúÇ×ÀÇ º¯È´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±×¸²3ó·³ µÇ°í,¼ö¸íÀÇ ÇÑ°è´Â D3Çü.EÇü.FÇüÀÇ °æ¿ì ÃʱâÀÇ ÀúÇ×ÀÇ ¾à3¹è(SG.SGRÀº 1.7¹è)±îÁö Áõ°¡ÇÑ
¶§¸¦ ±âÁØÀ¸·Î ÇØ ÁֽʽÿÀ. ÀÌ ÀÌÀ¯´Â ÀúÇ×ÀÌ ¾à 3¹è °¡±îÀÌ Áõ°¡Çϸé, °¢°¢ÀÇ ÀúÇ×Ä¡ÀÇ ±Õ¿ÀÌ Ä¿Áö°í, ¶ÇÇÑ 1Ü⸶´Ù ¹ß¿ºÐÆ÷µµ ³ªºüÁ®,
±×°á°ú ÖÓ³»ºÎ ¿ÂµµºÐÆ÷°¡ ³ªºüÁý´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, »êÈ±Ô¼Ò ¹ß¿Ã¼´Â ÇÑ°è¼ö¸í¿¡ °¡±î¿öÁö¸é ÀúÇ×Áõ°¡»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±â°øÀ²ÀÇ º¯È,°µµ¿È¿¡ ÀÇÇÑ ï¹áßµîÀ»
ÀÏÀ¸Å°±â ¶§¹®¿¡ ÁÖÀÇÇØ ÁֽʽÿÀ. ƯÈ÷ SG.SGRÇüÀº ¼ö¸íÀÌ ´ÙµÇ¸é ¿ë´ÜÀ» ÀÏÀ¸Å°±â ½±½À´Ï´Ù.
¹ß¿Ã¼ÀÇ ¼ö¸í(ÀúÇ×Ä¡°¡ ÃʱâÀÇ ¾à3¹è°¡ µÉ¶§±îÁöÀÇ ½Ã°£)Àº ´ÙÀ½ÀÇ »ç¿ëÁ¶°Ç¿¡ µû¶ó »ó´çÈ÷ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ÁÖÀÇÇØ ÁֽʽÿÀ.
»ç¿ë¿Âµµ,Ç¥¸éºÎÇϹеµ,·Î³»ºÐÀ§±â¹× 󸮹°,ÅëÀü¹æ¹ý,°á¼±¹æ¹ý,±×¿Ü
¹ß¿Ã¼ÀÇ ÃëºÎ¹æ¹ýµî¿¡ µû¶ó Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ±â
¶§¹®¿¡ ÀÌ°Í¿¡ ´ëÇØ ÀÚ¼¼È÷ ¼³¸íÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
1)»ç¿ë¿Âµµ: EREMAÀÇ ¿Âµµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï
¼ö¸íÀº ª¾ÆÁý´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÖÓÒ®°¡1400µµ(D3.E.F.UÇü), 1600µµ(SG.SGRÇü) ÀÌ»óÀÌ µÇ¸é
»êȼӵµ°¡ »¡¶óÁ® ¼ö¸íÀÌ Âª¾ÆÁý´Ï´Ù. µû¶ó¼,EREMAÀÇ Ç¥¸é¿Âµµ¸¦ °¡´ÉÇÑ ³·°ÔÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÕ´Ï´Ù.
´Ù½Ã¸»ÇØ ·Î³»¿Âµµ¿Í EREMAÀÇ ¿ÂµµÂ÷¸¦ °¡´ÉÇÑ Àû°ÔÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. ¿©±â¿¡ ´ëÇؼ´Â ´ÙÀ½Ç×ÀÇ Ç¥¸éºÎÇϹеµ¿¡¼
¼³¸í ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
2)Ç¥¸éºÎÇϹеµ: EREMA¿¡ °¡ÇØÁö´Â
Àü·ÂÀÇ Å©±â¸¦ ³ªÅ¸³»´Â °æ¿ì,EREMAÀÇ ¹ß¿ºÎ Ç¥¸éÀû 1cm2 ´ç °¡ÇØÁö´Â Àü·ÂÀ¸·Î ³ªÅ¸³»°í, ÀÌ°ÍÀ»
Ç¥¸éºÎÇϹеµ(W/cm2)¶ó°í ÇÕ´Ï´Ù. EREMAÀÇ Ç¥¸éºÎÇϹеµ(Àü·Â)¸¦ Å©°ÔÇÏ¸é ¿Âµµ°¡ ³ô¾ÆÁý´Ï´Ù¸¸,
¿Âµµ°¡ ³ô¾ÆÁú¼ö·Ï EREMAÀÇ ¼ö¸íÀÌ Âª¾ÆÁý´Ï´Ù. °°Àº ·Î³»¿Âµµ¿¡¼µµ ±×¸²4¿¡ ³ªÅ¸³ªµíÀÌ Ç¥¸éºÎÇϹеµ°¡
Å©¸é, ¹ß¿Ã¼ Ç¥¸é¿Âµµ°¡ ³ô¾ÆÁý´Ï´Ù.
3)Ç¥¸éºÎÇϹеµÀÇ ÇÑ°è: ±×¸²4¿¡¼ »ç¿ë¹üÀ§ÀÇ
¼±Àº, ¾îµð±îÁö³ª ÇÑ°è¼±ÀÌ ÀÖ°í, ½Ç¿ëÀûÀ¸·Î´Â ÇÑ°è¼±1/2~1/3Á¤µµÀÇ Ç¥¸éºÎÇÏ·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
4)EREMAÀÇ Á¤°Ý: EREMAÀÇ Á¤°ÝÀº
EREMA´ÜºÎ¿¡ Ç¥½ÃÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù¸¸, ÀÌ Á¤°ÝÀü·ù´Â JIS±Ô°Ý¿¡ Á¤ÇØÁø °³¹æ´ë±âÁß¿¡¼, ¹ß¿Ã¼ Ç¥¸é¿Âµµ¸¦
1000µµ·Î À¯ÁöÇÏ´Â °ªÀÌ°í, ÀÌ °æ¿ìÀÇ Ç¥¸éºÎÇϹеµ´Â 15W/cm2 Á¤µµ°¡ µË´Ï´Ù. ÀÌ Á¤°ÝÀü¾ÐÀ¸·Î
EREMA¸¦ ÅëÀüÇÏ¸é °úºÎÇÏ°¡ µÇ±â ¶§¹®¿¡ ÁÖÀÇÇØ ÁֽʽÿÀ.
5)ÅëÀü¹æ¹ý(´Ü¼Ó¿îÀü°ú ¿¬¼Ó¿îÀü): Àü±â·Î¸¦ ÁÖ¾ß ¿¬¼Ó¿îÀüÇÏ´Â °æ¿ì¿Í
´Ü¼ÓÇؼ ¿îÀüÇÏ´Â °æ¿ì¿Í´Â ÀüÀÚÂÊÀÌ ¼ö¸íÀÌ ±æ¾îÁü´Ï´Ù. ÅºÈ±Ô¼Ò ¹ß¿Ã¼´Â, »ç¿ëÁß¿¡ źȱԼÒÀÇ Ç¥¸éÀÌ
»êÈµÇ¾î ±Ô»ê¸·ÀÌ »ý¼ºµË´Ï´Ù. Àå±â°£ »ç¿ëÇϸé, ÀÌ ±Ô»êÇǸ·Àº ¼¼È÷ Áõ°¡ÇÏ¿© ¹ß¿Ã¼ÀÇ ÀúÇ×ÀÌ Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ ±Ô»êÇǸ·Àº °áÁ¤º¯ÅÂÁ¡ ºÎ±Ù(270µµ)¿¡¼ ÀÌ»óÆØâ,¼öÃàÀ» ÀÏÀ¸Åµ´Ï´Ù. ´Ü¼Ó»ç¿ë¿¡¼ ÀÌ ¿ÂµµºÎ±ÙÀ»
ß¾ù»Çϸé ÀÌ ÇǸ·ÀÌ Æı«°¡ µÇÇ®À̵Ǿî, »êÈ°¡ ÃËÁøµË´Ï´Ù. µû¶ó¼ Á¤Àüµî¿¡ ÀÇÇØ ½Ç¿Â±Ùó±îÁö ³»·Á°£
°æ¿ì¿¡´Â ±Þ°ÝÈ÷ ÀúÇ×ÀÌ Áõ°¡ÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
ºÐÀ§±â |
¿µÇâ |
´ëÃ¥ |
ÄÚÆÃ |
¼öÁõ±â |
°ÇÁ¶´ë±âÁßÀÇ
¼ö¸í¿¡ ´ëÇÏ¿© 1/5ÀÌÇÏ°¡ µÇ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. |
½Å¼³ÀåºñÀÇ
½Ã¿îÀüÀ̳ª Àå±â°£ ÈÞ¹«½Ã ÖÓ¸¦ Àç»ç¿ë ÇÒ¶§´Â Àú¿Â¿¡¼ ÃæºÐÈ÷ °ÇÁ¶ÇÑÈÄ ½Â¿ÂÇÕ´Ï´Ù. |
UÄÚÆÃ |
¼ö¼Ò°¡½º |
¼ö¼ÒÁß¿¡¼´Â
¿¡·¹¸¶ÀÇ ¿Âµµ°¡ 1350µµ ÀÌ»óÀÌ µÇ¸é ÀúÇ×ÀÌ ±Þ¼ÓÈ÷ Áõ°¡ÇÏ¿© ±â°èÀû °µµµµ
ÀúÇϵ˴ϴÙ.
°¡½ºÀÇ Ëë㥻óÅ¿¡ ÀÇÇØ ¼ö¸íÀÌ Å©°Ô ´Þ¶ó Áý´Ï´Ù. |
·Î³»
¿Âµµ´Â 1300µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ë ÇÒ°Í°ú,Ç¥¸éºÎÇÏ´Â ÀÛ°Ô ÇÒ°ÍÀ» ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù.(±×¸²4ÂüÁ¶) |
* |
Áú¼Ò°¡½º |
1400µµ
À̻󿡼 ÅºÈ±Ô¼Ò¿Í ¹ÝÀÀÇÏ¿© ÁúȱԼҸ¦ »ý¼ºÇÏ°í,¼ö¸íÀ» ª°ÔÇÕ´Ï´Ù.ÖÚïÃÀÇ ¿µÇâ¿¡
´ëÇؼ´Â ¼ö¼Ò°¡½ºÀÇ °æ¿ì¿Í °°½À´Ï´Ù. |
·Î³»
¿Âµµ´Â 1300µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ë ÇÒ°Í°ú,Ç¥¸éºÎÇÏ´Â ÀÛ°Ô ÇÒ°ÍÀ» ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù.(±×¸²4ÂüÁ¶) |
NÄÚÆÃ |
¾Ï¸ð´Ï¾Æ
º¯¼º°¡½º |
¼ö¼Ò,Áú¼Ò°¡½º¿Í
µ¿ÀÏÇÕ´Ï´Ù. |
·Î³»
¿Âµµ´Â 1300µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ë ÇÒ°Í°ú,Ç¥¸éºÎÇÏ´Â ÀÛ°Ô ÇÒ°ÍÀ» ±ÇÀåÇÕ´Ï´Ù.(±×¸²4ÂüÁ¶) |
NÄÚÆÃ
PÄÚÆÃ |
ºÐÇعÝÀÀ
°¡½º |
źȼö¼Ò¸¦
Æ÷ÇÔÇÑ ºÐÀ§±â¿¡¼´Â ¿¡·¹¸¶Ç¥¸é¿¡ ºÐÇØÇÑ Åº¼Ò°¡ ºÎÂøµÇ¾î ´Ü¶ôÀ» ÀÏÀ¸Å°´Â °æ¿ì°¡
ÀÖ½À´Ï´Ù. |
¶§¶§·Î
·Î³»¿¡ °ø±â¸¦ À¯ÀÔÇÏ¿©,ź¼Ò¸¦ ¿¬¼Ò½ÃÅ°°í,¶Ç ÖÓÀÇ ±¸Á¶µµ ºÐÇØµÈ Åº¼Ò¿¡ ÀÇÇØ
´Ü¶ôÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Êµµ·Ï ¿¡·¹¸¶ÀÇ °£°ÝÀ» ³Ð°ÔÇÑ´Ù. |
* |
À¯È²°¡½º
|
¿¡·¹¸¶ÀÇ
¿Âµµ°¡ 1300µµ ÀÌ»óÀÌ µÇ¸é ¹ß¿Ã¼ Ç¥¸éÀÌ Ä§½ÄµÇ¾î ÀúÇ×ÀÌ ±Þ¼ÓÈ÷ Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù. |
¿¡·¹¸¶ÀÇ
¿Âµµ¸¦ 1300µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ëÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ. |
* |
Áø
°ø
|
°íÁø°ø
Áß¿¡¼´Â º¸È£ÇǸ·ÀÌ µÇ´Â SiO2°¡ »ý¼ºµÇÁö ¾Ê°í »êÈ±Ô¼Ò Àڽŵµ ºÐÇØÇϱ⠶§¹®¿¡
¼ö¸íÀÌ °¨¼ÒÇÕ´Ï´Ù. |
0.13PaÀÌ»óÀÇ
¾Ð·Â¹× 1100µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ëÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ. |
PÄÚÆÃ |
±â
Ÿ |
󸮹°¿¡¼
¹ß»ýÇÏ´Â °¢Á¾¹°Áú,¿¹¸¦µé¸é ³³,¾ÈƼ¸ó,¾ËÄ®¸®Åä·ùÀÇ ÈÇÕ¹°Àº,¿¡·¹¸¶¿Í ¹ÝÀÀÇÏ¿©
¼ö¸íÀ» ª°ÔÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. |
¸ÕÀú
󸮹°¿¡¼ ÀÌ ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ¿© ÁֽʽÿÀ. ·Î³»¿¡ ¹è±â±¸¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© ¹èÃâÇØ ÁֽʽÿÀ. |
HÄÚÆÃ
PÄÚÆÃ |
|
|
|